(1) Предварителна PVD обработка, включително почистване на предмети и предварителна обработка.Специфичните методи за почистване включват почистване с детергент, почистване с химически разтворители, ултразвуково почистване и почистване с йонна бомбардировка.
(2) Поставете ги в пещта, включително почистване на вакуумна камера и приспособления, както и монтаж, пускане в експлоатация и свързване на елементи и съоръжения.
(3) Вакуумиране, обикновено изпомпване до 6,6Pa или повече, отворете предната част на дифузионната помпа по-рано, за да поддържате вакуумната помпа и да загреете дифузионната помпа.След като предварителното загряване е достатъчно, високият клапан се отваря и се изпомпва до полудънен вакуум 6 x 10-3 Pa с дифузионна помпа.
(4) Печене, изпичане на елементите до желаната температура.
(5) Йонна бомбардировка, вакуумът обикновено е от 10 Pa до 10-1 Pa, напрежението на йонно бомбардиране е отрицателно високо напрежение от 200 V до 1 KV, а времето на атака е 15 минути до 30 минути.
(6) Предварително топене, регулиране на тока за предварително разтопяване на материала, регулиране на тока за предварително разтопяване на покритието и дегазиране за 1 min ~ 2 min.Изпаряващо се отлагане.Токът на изпаряване се регулира според изискванията, докато изтече желаното време за отлагане.Охлаждане, елементите се охлаждат до определена температура във вакуумната камера.
(7) След изваждането на артикулите, вакуумната камера се затваря, вакуумът се евакуира до l × l0-1Pa и дифузионната помпа се охлажда до допустимата температура, преди поддържащата помпа и охлаждащата вода да могат да бъдат изключени.